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半导体参数测试系统

吉时利以无可匹敌的灵敏度和自动化的特性参数分析及测试系统,成为半导体测试解决方案的领导者。我们的半导体测试方案具有多功能、可升级、可扩展等特点,专注于帮助你满足不断变化的新材料、新工艺和新结构等的挑战。

半导体参数测试系统产品系列
S680专为高灵敏度高速测试而设计。测量仪器位于系统机柜内,而前置放大器位于测试头。前置放大器用于在探针后数厘米内放大低电平信号,再将放大了的信号通过电缆传入系统机柜内的测量仪器。

吉时利的S510自动WLR测试器采用新方法进行可靠性测试。专用的源/测量通道允许S510提供具有统计意义的数量的数据,所需时间仅为典型的stress-switch-measure系统的三分之一。

4200-SCS半导体特性分析系统- 集成前沿的脉冲能力和精密DC测量,用于65nm节点及更小尺寸

含4200-CVU-UPGRADE型 4200-CVU卡和对已有4200系统的升级

4205-PG2双通道脉冲发生器使脉冲和4200-SCS的直流源和测量能力结合到一起。脉冲发生器提供电压脉冲,高速模式下周期可短至20纳秒,高压模式下电压可高达±20V(到50Ω)。

4200-SCP2示波器提供通用示波能力和时域测量,与脉冲发生器的时域源互为补充。

16位4200-SCP2HR示波器的采样频率为400MS/s (单通道交叉存取也同样)并提供一般用途的示波器能力和时域测量来补充脉冲发生器的时域源 。

适用于4200-SCS (包括4200-PG2和4200-SCP2,软件和专用互联硬件)

4200-PIV-Q包专为对缩小的射频晶体管进行静点脉冲而设计,如应用III-V或LDMOS技术的HEMT和FET器件。这一产品包支持通过结合若干4205-PG2和4200-SCP2HR示波器进行大量的新型脉冲测试能力。

4200-FLASH产品包能快速且简单的测试单个FLASH存储单元或小阵列。这一产品包利用了4205-PG2增加的许多新特性,并且包含了所有必要的代码和所需的连接件,以实现一套标准的应用了NAND或NOR技术的Flash存储器的测试,具有更

7174A低电流矩阵卡适合需要高品质、高性能I-V和C-V信号开关的半导体研究、开发和生产应用。

7072-HV专为半导体参数测试中对晶圆和器件的低电平、高电压和高阻测量而设计。这一独特的设计提供了两条开关1300V的信号路径,具有小于1pA的偏置电流。

7072半导体矩阵卡专为半导体参数测试中对晶圆和器件的低电平和高阻测量而设计。这一独特的设计提供了用于高灵敏度亚皮安解决方案的两个低电流电路具有规定的最大值为1pA的偏置电流,和两条用于测量电容电压特性的从直流到1MHz的C-V路径。

自动特性分析组合(ACS)集成测试系统是一款配置能力强的基于一起的系统,适用于器件级、晶圆级和cassette级半导体特性分析。